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低溫等離子體技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性技術，該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、效率高、無二次污染等明顯優點。
低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有優秀的消毒殺菌之功效。
其凈化作用機理包含兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性*的O3，與有害氣體分子發生化學反應，zui終生成無害產物。
低溫等離子體中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子。
廢氣處理措施等離子有機廢氣凈化器
等離子有機廢氣凈化器采用了*的吸附?分解?碳化新工藝技術設計，voc有機廢氣處理器，是一種干法處理有機廢氣的凈化設備，它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，更換及維護保養方便（可在設備正常運行情況下更換維護操作）。等離子有機廢氣凈化器產品，無需增大抽風設備風阻小，安裝簡便，可根據客戶現場環境要求分組制造，方便運輸及安裝。設備結構緊湊，投資低，操作方便，產品采用標準型材料制造，或采用全不銹鋼材料制造，處理風量有6000～80000m3／h，以上是目前處理工業有機廢氣污染的*設備。
