詳細描述
266nm紫外脈沖激光器，266nm紫外脈沖激光器
LL266-Q全固態(tài)266 nm的紫外激光器廣泛用于紫外光固化，微電子，光盤雕刻，激光醫(yī)療，科學實驗等
波長Wavelength (nm) | 266±1 | |
輸出功率 Output Power (mW) | 1-200 | |
線寬Spectral Linewidth (nm) | <3 | |
工作方式 Operating Mode | 脈沖 | |
單脈沖能量(μJ) | 0.1~10 | |
重復速率(kHz) | 可操控的 | 固定重復速率，例如1k,2k,3k,4kHz,穩(wěn)壓激光器脈沖發(fā)射(穩(wěn)定脈沖能量,峰值,持續(xù)時間和周期)。 |
不同的重復速率在1kHz-4kHz的范圍內(nèi)可以通過輸入一個外部TTL信號取得。 | ||
不可操控的 | 在4k-10kHz范圍內(nèi)不確定的重復速率和激光器不穩(wěn)定脈沖發(fā)射。需要高峰值能量脈沖以適合應用程序。 | |
光斑模式 Beam Mode | 橫模 Transverse | Near TE00 |
縱模 Longitude | Multi-longitude | |
偏振方式 Polarization | Line polarization | |
偏振比Polarization Ratio | >100:1 | |
光束質(zhì)量Beam Quality (M2 factor) | <20 | |
光束發(fā)散角Beam Divergence (full angle, mrad) | ~2.0 | |
光束直徑Beam Diameter at Aperture (mm) | 2.0 | |
光束指向穩(wěn)定性 Beam pointing stability（mrad） | <0.05 | |
功率穩(wěn)定性Power Stability (RMS, over 8 hours) | <5%,<10% | |
振幅穩(wěn)定性Noise of Amplitude (P-P)/噪聲值 | <3% | |
出光孔高度 Aperture Position (mm) | 25/45 | |
激光頭 Laser Head | 尺寸 Dimensions (L×W×H, mm) | 209 x 88x 74/204 x 78 x 63 |
重量 Net Weight (kg) | 1.6/2.3 | |
驅(qū)動電源 Power Driver | 尺寸 Dimensions (L×W×H, mm) | 209 x 88 x 74 |
重量 Net Weight (kg) | 2.3 | |
電源型號Integrated Driver Model | F-266 | |
制冷方式Cooling System | TEC | |
預熱時間Warm-up Time (minutes) | <5 | |
工作溫度Operation Temperature (℃) | 10~35 | |
