主動(dòng)式氣動(dòng)懸掛系統(tǒng)MRZ系列
主動(dòng)式氣動(dòng)懸掛系統(tǒng)
基于MAPS系列，我們開發(fā)了高性能，合理的主動(dòng)式氣動(dòng)懸架系統(tǒng)MRZ系列！
業(yè)務(wù)領(lǐng)域
用于測量
對(duì)于半導(dǎo)體
特征
應(yīng)用領(lǐng)域
FPD ?半導(dǎo)體醫(yī)師設(shè)備，電子顯微鏡，UHV-SPM，量測機(jī)，超精密切割機(jī)等
六個(gè)自由度的主動(dòng)隔振
每個(gè)單元都有兩個(gè)氣壓執(zhí)行器：垂直和水平，并具有出色的隔振，抑制振動(dòng)和精確定位的性能。
FB + FloorFF控制
FB：反饋
FloorFF：地板前饋
StageFF：舞臺(tái)前饋（選件）
「輕巧緊湊」「節(jié)省電力」「合理價(jià)格」！
實(shí)現(xiàn)輕巧緊湊，省電，價(jià)格合理。
日本第5457821號(hào)
- 規(guī)格
| 類型 | MRZ-200 | MRZ-330 | MRZ-520 |
|---|---|---|---|
| 每4個(gè)單位的有效載荷范圍[kg] | 1,500?4,400 | 4,000?12,800 | 10,000?32,000 |
| 單位尺寸W×D×H [mm] | 324x252x191 | 504x404x191 | 694x594x191 |
| 單位質(zhì)量[kg /單位] | 34 | 60 | 110 |
| 供給氣壓[MPa] | 0.6?0.8（清潔干燥空氣） | ||
| 典型耗氣量[l / min] | 45?65 | 120?170 | |
| 耗氣量[l / min] | 120 | 300 | |
| 電源電壓[V] | 100?240（單相AC，50 / 60Hz） | ||
| 功耗[VA] | 120 | ||
| 環(huán)境溫度[℃] | 0?40 | ||
| 相對(duì)濕度[％RH] | 35?85 | ||
| 隔振方法 | 氣壓控制隔振 | ||
| 控制器尺寸[mm] | W435xD300xH118 | ||
| 控制器質(zhì)量[kg] | 7.5 | ||
