催化燃燒適用中高等濃度有機廢氣（通常濃度在2000~5000mg/m3之間），有機廢氣進入裝置首先到熱交換器，用催化燃燒后余熱通過熱交換器把有機廢氣溫度盡可能的提高，通常溫升Δt=50～60℃，然后送入到電加熱箱內，通過電熱管加熱到啟燃溫度（一般在200～250℃），達到溫度會自動關閉加熱系統。廢氣在催化劑（鉬、鉑、鈀等貴金屬）作用下進行無火焰燃燒氧化反應，生成無毒無味的二氧化碳（CO2）和水（H2O）并釋放大量熱量。當有機廢氣濃度一定量時，產生的余熱通過熱交換器后溫升已經達到啟燃溫度，這時催化燃燒裝置就達到動態熱平衡，無需電加熱，通過自身熱量平衡處理有機廢氣。
