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雙頻激光干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海貝丁漢工業自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間 2017-09-11
  • 訪問次數1911
產品標簽:

雙頻激光干涉儀

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 上海貝丁漢工業自動化設備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設備、電子產品及其配件等的銷售和技術服務工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理,美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理,德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經營的主要產品包括光學粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調諧儀等。



    本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業標線和艉軸管檢測、汽車發動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測,及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。



光學粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調諧儀
產品名稱:雙頻激光干涉儀
產品型M700
產品產地:德國
制 造 商:德國耶拿爾JENAer公司
雙頻激光干涉儀 產品信息

 
產品名稱:雙頻激光干涉儀
產品型號:ZLM700
產品產地:德國
制 造 商:德國耶拿爾JENAer公司
 
詳細介紹:
在德國,耶拿地區以生產蔡司光學產品而聞名。位于該地區的耶拿爾(JENAer)公司生產的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產品中,由于具有*的性能優勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理,德國耶拿爾JENAer公司生產的是真正意義上的雙頻干涉儀,并非單頻。

     其主要功能包括:定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等,通過配合使用球桿儀,還能夠測量數控機床的回轉量,從而實現定位、校準、控制和補償。

ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量,廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。德國耶拿爾具有以下性能優勢

l          真正意義上的,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“”的區別。*精度更好、性能更穩定。
l          全部部件皆在德國生產制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l          測量系統采用模塊化設計,各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測量直線度),則僅采購所需功能部分的光學部件(直線度光學鏡),其他不需要的功能暫時可以不采購;若后期有其他功能的需求,補充采購功能對應的部件即可。
l          激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,一小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm
l          計算機輔助光路調整,調整結果更準確。
l          采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l          無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,請選用ZLM800型,zui多可實現六軸聯動。

工作原理
ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量,不會出現干擾誤差,信號延時時間極短。
采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上,避免了外部電磁環境對測量信號的干擾。因此,ZLM700特別適用于惡劣的生產環境、標準化實驗室和高真空環境。

技術參數

型號:ZLM700
使用高性能數據處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內2x10-8±0.02ppm
系統精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發zui大輸出功率:
1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數:
1
線性測量距離:
40m,可擴展為120m
角度測量范圍:
± 15°20m軸線范圍
平面度測量范圍:
20m行程
直線度測量范圍:
± 5mm2m10m行程,
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度:
4m/s,可選16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
無限制
zui高采樣頻率:
內部1MHz,外部40MHz
預熱時間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度:
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測量精度:
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm2m行程
直線度測量精度:
±0.5%實測值,2m行程
± 2.5%實測值,10m行程
垂直度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
垂直度測量精度:
±0.5%實測值2m,± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m,± 0.5弧秒*
數據接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間
Dt » 20 ns
數據分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數對比
 
耶拿爾干涉儀
歐洲某品牌
 
型M700
型號:XX-XX
工作原理:
雙頻激光干涉原理(外差式, 頻差640MHz)
單頻零差式激光干涉原理,采用遠程干涉測量法
波長:
632.991nm
632.991nm
激光輸出功率:
<1mW Class II (可選 Class 3R)
<1mW Class II
1小時內穩頻精度:
0.002ppm
0.04ppm
產品壽命內穩頻精度:
0.02ppm
0.1ppm/
壽命:
約20000小時
約8000小時
穩定工藝:
溫度穩定法(對兩種模式進行比較,外差式)
零差式(1種模式)
激光束直徑:
6mm可選3.2mm)
6mm
每束激光可測量的軸數:
1-6
1
測量范圍
 
 
距離 :
0...40m,可選120m
0...40m,可選80m
角度:
± 15°,軸線范圍20m
± 5° ,軸線范圍15m
直線度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
垂直度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
分辨率
 
 
距離 (使用角隅反射鏡) :
0.6 nm,速度v= 4m/s
1nm,速度v=4m/s
 
0.3 nm,速度v= 2m/s
 
 
0.1 nm,速度v= 1m/s
 
角度:
0.003角秒(0.015µrad)
0.1µrad
直線度(短距離):
7nm
10nm
垂直度(短距離):
7nm
10nm
直線度(長距離):
36nm
100nm
垂直度(長距離):
36nm
100nm
精度
 
 
距離:
+/-0.4ppm
+/-0.5ppm
角度:
+/-0.1ppm
+/-0.6%實測值
直線度(短距離):
+/-0.5%實測值
+/-0.5%實測值
垂直度(短距離):
+/-0.5%實測值
+/-0.5%實測值
直線度(長距離):
+/-2.5%實測值
+/-2.5%實測值
垂直度(長距離):
+/-2.5%實測值
+/-2.5%實測值
光學鏡(直線度用):
差分干涉鏡
無(僅使用一個Wollaston棱鏡)
系統的線性度:
非常好(這是因為使用了差分干涉鏡)
不明(取決于Wollaston棱鏡質量)
可測量到的偏差范圍
 
 
直線度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
垂直度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
輔助調節:
計算機輔助調節
小孔
接口:
PCI
USB
 
cPCI (PXI)
 
 
USB
 
 
AquadB (積分信號)
 
 
32bit實時
 
采樣速度:
 0.001Hz - 1MHz (可調)
50 kHz

ZLM700部分應用的光路圖


 


 

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