中圖儀器SJ6000單頻高精度機(jī)床激光干涉儀是一種高精度測(cè)量設(shè)備，采用邁克爾遜干涉原理進(jìn)行線(xiàn)性測(cè)量，可以測(cè)量機(jī)床的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過(guò)高精度的環(huán)境補(bǔ)償模塊，能夠自動(dòng)補(bǔ)償激光波長(zhǎng)和材料特性，從而確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。此外，激光干涉儀還能夠進(jìn)行角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數(shù)的測(cè)量，以及動(dòng)態(tài)測(cè)量和分析，為機(jī)床的校準(zhǔn)和性能檢測(cè)提供全面的數(shù)據(jù)支持。
在機(jī)床加工領(lǐng)域的應(yīng)用
1.測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌的直線(xiàn)度和平行度。
導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線(xiàn)度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過(guò)測(cè)量導(dǎo)軌上的干涉條紋來(lái)確定其直線(xiàn)度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。
2.測(cè)量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度。
機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過(guò)激光干涉儀測(cè)量工作臺(tái)上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測(cè)量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。
機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過(guò)激光干涉儀測(cè)量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。
4.其它
除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測(cè)量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系，從而檢測(cè)和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測(cè)機(jī)床在運(yùn)行過(guò)程中的變形和振動(dòng)情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài)，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。
對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償
SJ6000單頻高精度機(jī)床激光干涉儀非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測(cè)量檢測(cè)方式。
功能廣
（1）可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；
（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
軟件強(qiáng)
（1）友好的人機(jī)界面；
（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；
（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
部分技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線(xiàn)性測(cè)量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件) |
| 線(xiàn)性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測(cè)量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m) |
| 直線(xiàn)度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線(xiàn)度測(cè)量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測(cè)量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
直線(xiàn)度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。
