高精密可修面雙面研磨機(jī)
主要用途：
該雙面研磨機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。
工作原理：
2．本系列研磨機(jī)為超高精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。
2．本系列研磨機(jī)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行平面修整。
特 點
1． 本系列研磨機(jī)的上、下研磨盤可進(jìn)行自動修盤。
2． 采用四個電機(jī)同步拖動，變速范圍更廣，運(yùn)動精度更高，響應(yīng)速度更快，能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實現(xiàn)了軟啟動、軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
3． 修面機(jī)采用伺服馬達(dá)驅(qū)動，能確保油壓懸浮導(dǎo)軌滑動更加平穩(wěn)，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)功能；
5． 本系列研磨機(jī)有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
技術(shù)參數(shù)：
| 型 號 | FD--9B |
| 研磨盤規(guī)格： | φ635×φ240×12t |
| 加工工件尺寸 | φ200mm |
| 工件平面度（25mm） | ±0.2u以內(nèi) |
| 工件平行度（25mm） | ±0.4u以內(nèi) |
| 工件粗糙度（石英材料） | 0.4nm以內(nèi) |
| 研磨盤修面后平行度 | ±2u以內(nèi) |
| 游輪規(guī)格 | φ230mm |
| 游輪數(shù)量 | 5 枚 |
| 下研磨盤轉(zhuǎn)速 | 0~140rpm |
| 下研磨盤電機(jī)功率 | 2.2kw 3相380V |
| 上研磨盤研磨轉(zhuǎn)速 | 0~60rpm |
| 上研磨盤電機(jī)功率 | 1.5kw 3相380V |
| 上研磨盤修面轉(zhuǎn)速 | 0~140rpm |
| 上研磨盤修面電機(jī)功率 | 0.75kw 3相380V |
| 太陽輪轉(zhuǎn)速 | 0~60rpm |
| 太陽輪電機(jī)功率 | 0.75kw 3相380V |
| 外齒輪轉(zhuǎn)速 | 0~30rpm |
| 外齒輪電機(jī)功率 | 0.75kw 3相380V |
| 修面機(jī)速度 | 200mm/分鐘 |
| 修面機(jī)伺服馬達(dá)功率 | 750w |
| 外形尺寸： | 1200×1650×2400mm |
| 重量： | 2300kg |
