早期超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求相對較低，超純水制水設備只要采用離子交換，該超純水制水設備方法的主要缺點是化學藥劑再生，既麻煩又不經濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業發展，對超純水質量要求提高，從而大大的推動了純水技術的發展，到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的應用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術*的水處理技術得到了飛速的發展，膜法制備純水取代了傳統的離子交換設備系統，解決了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要求取設備工藝。

超純水設備工藝流程：

1. 預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

2. 預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)

3. 預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)

4. 預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)

5. 預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

6、預處理系統→一級反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→離子交換系統→用水對象(≥18MΩ.CM)