超精密定壓定量復(fù)合控制磨床的特點：
1.加工效率，品位，極少SSD，工具壽命。
在所有方面都超過了傳統(tǒng)的加工方法。
在東北大學(xué)的共同研究中誕生了劃時代的難削材料的磨削加工方法。通過自主開發(fā)的智能車輪和定壓定量復(fù)合控制技術(shù)，實現(xiàn)了高加工效率、品位、SSD的極小化和工具壽命。
2.始終保持最佳加工狀態(tài)
是為了極少地抑制對工件的損害而開發(fā)的劃時代的技術(shù)。隨時檢測施加在工件和砂輪上的壓力，通過NC復(fù)合控制切入壓力和量。總能實現(xiàn)在最佳條件下的磨削加工。
3.創(chuàng)造超鏡面、超平面成為可能
砂輪軸及工件軸軸承采用非接觸多面油靜壓方案內(nèi)。通過優(yōu)異的振動衰減性，實現(xiàn)沒有平面抖動的超精密旋轉(zhuǎn)和高精度的上下軸定位，創(chuàng)造出以往沒有的超鏡面和超平面。
4.加工面無傾倒的超高剛性結(jié)構(gòu)。
通過高剛性床鋼架結(jié)構(gòu)設(shè)計，各軸極少單獨切入和加工面傾倒。
5.可以測量晶圓厚度，進行自動加工。
自動加工、無塵室對應(yīng)也可能。
可選地以±1μm精度測量工件厚度，可對應(yīng)自動加工。而且也可以支持自動作業(yè)供應(yīng)、潔凈室規(guī)格(詳細(xì)規(guī)格請咨詢本公司總部營業(yè)處)。
超精密定壓定量復(fù)合控制磨床的參數(shù)：
| 機種／項目 | ワーク最大徑 | 上下軸ストローク | 揺動軸ストローク | ワーク軸最小単位 | ワーク軸回転速度 | 砥石軸回転速度 | 砥石サイズ（外徑×內(nèi)徑） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| mm | mm | mm | mm | min-1 | min-1 | mm | |
| NSF-350 | φ150 | 150 | － | 0.0001 | 70?900 | 0?600 | φ350×30 |
| NSF-600 | φ300 | 150 | 100 | 0.0001 | 70?600 | 0?600 | φ600×30 |
| NSF-800 | φ380 | 約180 | － | 0.0001 | （70）?450 | 0?450 | φ800×40 |
