激光清洗系統(tǒng)
應用行業(yè)：
1、微電子行業(yè)：晶圓面板激光清洗、電路板清洗；
2、OLED微型顯示器芯片：芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗；
3、文物藝術品保護：無損還原；
4、汽車產(chǎn)業(yè)：各種焊接處焊后激光清洗；
5、其它：材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。
技術特點：
1、靜態(tài)氣體壽命 >30天；
2、激光器壽命 >20億次脈沖；
3、多種光路方案，可定制；
4、反射/透射照明；
5、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動，1μm分辨率 ；
6、電動焦點控制（沿Z軸）；
7、配有同軸和離軸相機，模式識別軟件可選 ；
8、快速響應時間，易于操作的軟件；
9、同軸機器視覺示意圖，所見即所得。
光束傳播特點：
1、能量控制 10-80% ；
2、投影縮倍4x-20x ，可定制；
3、工作距離>25mm；
4、目標能量密度 0.25-10J/cm2 ；
5、同軸顯微成像；
6、光斑勻化系統(tǒng)。
1、圖形化加工路徑顯示；
2、晶圓自動聚焦、自動對位；
3、大視野晶圓導航圖；
4、激光參數(shù)設定及調(diào)試；
5、加工進程控制、中斷自動恢復；
6、芯片參數(shù)導入；
7、壞點剔除功能；
激光清洗系統(tǒng)參數(shù)：
波長 | 193nm /248nm |
脈沖寬度 | 5-10 ns |
單光斑加工面積 | ＞400um x400um |
光學分辨率 | 1um |
能量密度 | >10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性 | ≤2% |
脈沖重復頻率 | 1-1000Hz |
系統(tǒng)框架 | 大理石光學基座以及金屬框架結構 |
機器視覺 | 同軸照明/觀察，所見即所得 |
投影物鏡 | 紫外超長工作距離物鏡 |
掩膜版位移臺 | 100mm x100mm，定位精度:±1um |
Z軸電動平臺 | 50mm行程，±1μm重復定位精度 |
衰減器 | 電動可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80% |
| 控制軟件 | LPCPro3D自動加工處理軟件 |
