王欣悅1-8-1,
4-5-66
8-7-02
RBN-XY系列雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺應(yīng)用領(lǐng)域
RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺,具有納米級微動(dòng)步距,亞微米級重復(fù)定位精度,高動(dòng)態(tài)性能,結(jié)構(gòu)緊湊,用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測、測試測量、半導(dǎo)體、光纖對準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。
RBN-XY系列雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有效地降低工作點(diǎn)的高度,減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),具有零齒槽、高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)。運(yùn)動(dòng)臺在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持平穩(wěn),在高速狀態(tài)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。抗蠕動(dòng)交叉滾柱直線導(dǎo)軌,滾柱間線線接觸,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),交叉排列,多方向受力穩(wěn)定。
精度性能
非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋,通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控,獲得高精度指標(biāo),定位精度±0.1μm,雙向重復(fù)定位精度±50nm,直線度和平面度±0.5μm,是高精度場所的理想選擇。
微動(dòng)步距
對有微動(dòng)步距(最小位移量)要求的應(yīng)用領(lǐng)域,如最小步距運(yùn)動(dòng)、對準(zhǔn)應(yīng)用等,微動(dòng)步距≤2nm,對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求,更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空環(huán)境下的版本,真空度10^-7Torr;定制加速度,多軸結(jié)構(gòu)等;根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運(yùn)動(dòng)控制方案。
規(guī)格指標(biāo)
單位 | RBN-50XY | RBN-110XY | RBN-150XY | ||
行程 | mm | 50 x 50 | 110 x 110 | 150 x 150 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.25 | ±0.3 | ±0.3 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.5 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±2.5 | ±3 | ±3 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±5 | ±5 | ±5 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±1 | ±1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(選配) | |||
速度 (空載) (4) | mm/s | 200 | |||
加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,(5 定制) | |||
負(fù)載 | kg | 20 |
注:
以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級VC-E,測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試,請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下的精度指標(biāo),速度和加速度取決于負(fù)載大小。