氣體制冷機Thermal Control system

是一種閉環制冷系統，設計用于將干燥氣體(如氮氣，氬氣或空氣)從環境溫度冷卻到低溫狀態。

ThermoTST GC120氣體制冷機采用 混合制冷劑自動制冷層疊技術，以提供超低溫而不需要液氮的成本、風 險或不便。可以將干燥的氣體冷卻到 -90 ℃到-125 ℃，且不需要犧牲高流速。

氣體制冷機Thermal Control system

電子器件的熱測試、半導體工藝工具中晶圓夾頭的冷卻、真空 室的冷氣體充氣、流變學、材料的低溫特性等。

• 冷卻壓縮空氣

• –90℃ 至 –125 ℃ (–130 to –193 F,183 to 148 K)

• 連續冷卻 ThermoTST GC120氣體制冷機在不 進行預冷的情況下，將干燥氣體(如 氮氣、氬氣或空氣)從環境溫度冷卻 到低溫。

氣體冷凍機是一種閉環制冷系統，它利用制冷劑對管內換熱器進 行氣體冷卻。氣流是不循環的。

獨立安裝，體積小巧

可連續運行

已裝運，可隨時操作

采用單臺壓縮機，性能可靠

· 集成式氣體干燥器，無需  外置

· 風冷或水冷機型可選

· 專有制冷劑，符合環境氣  候協議

特點

結構緊湊，移動式設計

觸摸屏操作，人機交互界面

不需要液氮LN2，干冰

出口氣體流量可自行設定

集成式氣體干燥器，無需外置（壓縮空氣配置選項，小于24SCFM的系統）

單級壓縮機，節能環保，性能可靠

風冷或水冷機型可選

專有制冷劑，符合環境氣候協議

應用

電子產品的低溫性能驗證

半導體加工部件冷卻

晶圓卡盤的低溫冷卻

真空腔室的低溫氣體充注

流變學研究

材料的低溫表征實驗

氣體制冷機應用于各種領域，如工業制冷、食品冷凍、空調制冷等。與傳統的機械制冷相比，氣體制冷機具有制冷效率高、可靠性高、噪音低、能耗低等優點。