2．研磨盤修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行精密修整，得到理想的平面效果。
硅片雙面研磨機(jī)特 點(diǎn)：
1．系列研磨機(jī)工件加壓采用氣缸加壓的方式，壓力可調(diào)；
2．系列研磨機(jī)采用PLC程控系統(tǒng)，觸摸屏操作面板，研磨盤轉(zhuǎn)速與定時(shí)可直接在觸摸屏上輸入。
硅片雙面研磨機(jī)技術(shù)參數(shù)：
| 型 號(hào) | YM-24LX-3Q | YM-30LX-3Q | YM-36LX-3Q | YM-48LX-3Q |
| 研磨盤（外徑×內(nèi)徑） | ￠610mm×￠210mm | ￠760mm×￠260mm | ￠910mm×￠310mm | ￠1220mm×￠400mm |
| 修正輪（外徑×內(nèi)徑） | ￠280mm×￠240mm,3個(gè) | ￠360mm×￠310mm,3個(gè) | ￠410mm×￠360mm,3個(gè) | ￠510mm×￠470mm,3個(gè) |
| 工件zui大加工尺寸 | ￠220mm, | ￠290mm | ￠333mm, | ￠430mm, |
| 工件加工平度 | 0.001 mm（￠220mm,） | 0.0015 mm（￠290mm） | 0.0015 mm（￠333mm,） | 0.002 mm（￠430mm,） |
| 主電機(jī)功率 | 2.2KW,380V,3相 | 3.7KW,380V,3相 | 7.5KW,380V,3相 | 11KW,380V,3相 |
| 研磨盤轉(zhuǎn)數(shù) | 0-80RPM | 0-80RPM | 0-60RPM | 0-40RPM |
| 加壓氣缸數(shù)量 | 3個(gè) | 3個(gè) | 3個(gè) | 3個(gè) |
| 氣缸zui大加壓 | 90kg | 130kg | 200kg | 300kg |
| 外形尺寸 | 1500mm×900mm×2100mm | 1500mm×900mm×2100mm | 1800mm×1500mm×2200mm | 2200mm×2000mm×2300mm |
| 設(shè)備重量 | 1300kg | 1400kg | 3000kg | 4500kg |
硅片雙面研磨機(jī)如有任何業(yè)務(wù)問題請(qǐng)登陸咨詢：:;/;:;:;：吳 。
