型號

excel661um

excel661uc

excel662um

excel662uc

excel664um

excel664uc

測量行程

650x650x160mm

650x650x250mm

650x650x400mm

外形尺寸

1311x1604x1608mm

1311x1604x1788mm

1311x1604x2088mm

重量

1530kg

1550kg

1550kg

承載重量

100kg

100kg

100kg

平臺材質

鋼構

基座材質

花崗巖

傳動方式

unique x&y monorail, monorail linear z

電控系統

伺服系統: cnc, 鼠標, 搖桿

電源系統

93-264 vac, 47-63 hz,zui大10 amp

xy 精度

uxy=2.5+l/300μm

uxy=2.8+l/300μm

uxy=3.2+l/300μm

z 精度

ux=2.5+l/150μm

ux=3.0+l/150μm

ux=3.5+l/150μm

xy 重現性

2.5μm

2.8μm

3.2μm

z 重現性

2.5μm

3.0μm

3.5μm

xy 加速度

1000mm/s2

z 加速度

500mm/s2

xy 移動速度

500mm/s

z 移動速度

150mm/s

光學尺分辨率

0.1μm

影像

黑白

彩色

黑白

彩色

黑白

彩色

光源

紅光led

白光led

紅光led

白光led

紅光led

白光led

照明系統

表面光, 輪廓光,同軸光

光學系統/放大倍率

12x 光學/3x 數字 zoom / 15x~1200x 放大倍率

軟件

inspec for windows metrology software（2000/xp/vista）

工作環境

20℃（68℉）±2°,30-80%濕度