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“黑科技”來了!牧野Super Hale 加工技術(shù)

名企在線 2022年02月14日 09:56:02來源:牧野 6331
摘要精密半導(dǎo)體制造過程對真空等級要求極高。如下圖所示,真空腔體和相關(guān)的腔體、閥門之間都是靠真空密封來保證的,所以對于這些密封面的密封要求也極其苛刻。
  【機床商務(wù)網(wǎng)欄目 名企在線】精密半導(dǎo)體制造過程對真空等級要求極高。如下圖所示,真空腔體和相關(guān)的腔體、閥門之間都是靠真空密封來保證的,所以對于這些密封面的密封要求也極其苛刻
 
真空腔體的周邊設(shè)備
 
  加工這些真空腔體的密封面時,若采用傳統(tǒng)的銑削方法,會在刀具旋轉(zhuǎn)方向產(chǎn)生切削痕跡缺陷。為了保持密封面的高真空狀態(tài),不得不對加工面進(jìn)行研磨處理,存在對技能人員要求高、不能自動化生產(chǎn)、品質(zhì)不穩(wěn)定、加工成本高等問題。
 
加工的真空密封面存在切削痕跡缺陷
 
  01、黑爾(Hale)加工
 
  黑爾(Hale)是抑制振動的工具的構(gòu)造,起源是車床與肩刨床(黑爾加工=刮削加工),工具的頸部被叫黑爾(Hale)結(jié)構(gòu)。
 
  1980年代,牧野開發(fā)了NC控制的黑爾(Hale)加工法,在橡膠(密封圈)行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
 

 
  傳統(tǒng)的黑爾加工在真空腔體密封面加工上的應(yīng)用也存在如下問題
 
  1)使用標(biāo)準(zhǔn)的黑爾加工模式;
 
  2)各公司獨立設(shè)計、制作刮刀;
 
  3)在密封面在直面加工中表現(xiàn)良好,轉(zhuǎn)角處會留有橫向和豎向條紋;
 
  4)必須有熟練技能人員進(jìn)行細(xì)微的研磨。
 
 
  02、Super Hale 的研發(fā)和應(yīng)用
 
  為了實現(xiàn)不需要人工干預(yù)和研磨的真空腔體密封面加工,牧野開發(fā)了Super Hale的專用刀具專用的控制,為該行業(yè)提供了更加優(yōu)越的解決方案。
 
  1)縮短加工時間
 
  進(jìn)給速度6000mm/min加工,利用牧野特有的Super Hale控制。
 
Normal Hale加工:
 
  工具材料:WC
 
  進(jìn)給速度:1000mm/min
 
  加工深度:0.003mm/次(0.05mm)
 
  加工時間:13分鐘30秒
 
  Super Hale加工:
 
  工具材料:WC
 
  進(jìn)給速度:6000mm/min
 
  加工深度:0.003mm/次(0.05mm)
 
  加工時間:2分鐘46秒加工時間減少達(dá)79%
 
  2)提高表面品質(zhì)
 
  用Super Hale控制抑制轉(zhuǎn)向波紋高度:
 
Normal Hale控制
 
Super Hale控制
 
  3)無需進(jìn)行研磨作業(yè)
 
  Super Hale在超高真空(10?¹??/?)狀態(tài)下的氦氣泄露測試中,表現(xiàn)卓越,不會出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。
 
Super Hale 適用牧野設(shè)備
 
  1)BT40/HSK-A63等
 
a51nx/ a61nx/ a500Z
 
  2)BT50/HSK-A100等
 
a71nx/ a81nx/ T1
 
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