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往期回顧

半導體設備真空腔體密封面解決方案

科技動態 2022年03月14日 09:31:15來源:牧野中國 14086
摘要之前,我們分別介紹了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半導體設備真空腔體密封面的加工中的應用。
  【機床商務網欄目 科技動態】之前,我們分別介紹了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半導體設備真空腔體密封面的加工中的應用。
 
  本期我們介紹其中的另一項黑科技:
 
  Belt Track Finisher (帶式磨削) 加工裝置。
 
  Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置是實現超真空面密封無研磨加工的另一項場景應用,是加工中心直接將真空裝置的密封面加工成高品質量,實現其表面實現超高真空密封效果的可行性方案之一。
 
  Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置:
 
 
  傳統的加工方式,由于刀具旋轉會產生從內側到外側的切削痕跡。
 
  真空密封面中氦氣沿著切削痕跡泄漏,無法維持真空。
 
  為了保持高真空狀態,必須進行研磨作業。
 
  帶式磨削精加工裝置,研磨紋理可以跟工具前進方向平行運動,沒有從內側到外側的切削痕跡,因此真空面沒有泄露。
 
 
  加工特點
 
  ?沿工具前進方向平行的研磨紋理
 
  ?沒有真空泄露方向的切削痕跡
 
 
  關鍵技術
 
  ?新開發的接觸輪,提高研磨效率
 
  ?帶式磨削工藝,不留切削痕跡
 
  ?更換砂帶簡單,自動調整張力
 
  ?無需氣管、電線。可使用 ATC,實現連續加工
 
  ?選擇不同的砂帶寬度和顆粒度,可以加工多種材料
 
 
  加工案例
 
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