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1.系統組成

該小型高純氣體氣驅增壓設備來用兩級增壓的工作方式，系統由控制部分和工作部分組成。工作部分可分為:低壓工作區、一-級高壓工作區和二級高壓工作區,各工作區分別由氣缸體氣缸腔、活塞和密封組件等構成，各工作區之間由驅動軸相連,以傳遞壓力和實現壓強的遞增。密封組件用以實現各工作區間的氣密和自潤滑功能;控制部分由驅動壓縮氣體自動換向機構發熱部件冷卻系統、控制高壓缸排氣的單向氣閥等組成，主要實現設備的散熱降溫、往復換向、壓強控制和過壓保護,實現設備的安全可靠 連續增壓工作。

 

高純氣體增壓裝置

 

2.工藝流程

（1）一級增壓：增壓設備開始工作后,驅動壓縮氣體通過氣控閥進人低壓缸右氣腔,同時打開低壓缸左氣腔排氣口(此時該腔與大氣相通)。驅動壓縮氣體與空氣分別作用于低壓活塞兩側,其壓強差會在活塞兩則產生壓力差，由于驅動壓縮氣體的壓強大于空氣的壓強,從而推動低壓活塞在低壓缸內向左移動,并帶動驅動軸-起移動。與驅動軸相連的一級高壓活塞同時向左移動,致使一級高壓腔體積逐漸減小,腔內的被增高純氣體壓強也逐漸增高,當其壓強高于設定值時，排氣單向閥打開，一級壓縮高純氣體進入二級高壓氣缸內,當低壓活塞運行至左側時，一級增壓完成。換向機構工作,開始二級增壓。

 

（2）二級增壓：驅動壓縮氣體在換向機構的控制下自動換向,向低壓缸左腔內充入驅動氣體,同時打開低壓缸右氣腔排氣口,此時右氣腔內的做功后驅動壓縮氣體從進氣口排出，通過相應管路引至相關發熱部件和散熱翼板,對其進行散熱降溫。在驅動壓縮氣體作用下，低壓缸活塞帶動傳動軸向右運動,開始二級增壓。同時一級增壓缸進氣口打開，吸入被增壓高純氣體。當低壓缸活塞運行至右端時,二級增壓結束完成-一個工作循環。

 

（3）連續功能實現：在驅動壓縮氣體自動換向機構和控制高壓氣缸排氣的單向氣閥的聯合控制下，增壓設備的低壓活塞帶動傳動軸,能夠實現自動換向、連續往復運動,從而實現額定高壓高純氣體的連續輸出,滿足用戶需求。

 

（4）壓強控制和過壓保護：設備具有輸出氣體壓強控制和系統過壓保護功能。當高壓氣體儲氣罐或其他用氣設備氣體壓強達到設定值后,控制二級高壓氣缸排氣的單向氣閥將輸氣管路切斷，停止供氣。當設備停機時，單向氣閥同樣可將輸氣管路切斷，防止高壓氣體儲氣罐等向設備反向供氣。當由于特殊情況造成設備系統壓強超過規定值過壓保護裝置即關閉氣控閥,停止驅動壓縮氣體的輸人，防止繼續增壓出現故障和事故。

 

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