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光柵尺可用于高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)

2020-7-22  閱讀(4562)

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  光柵尺專為需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。消除了由滾珠絲杠的溫度和運(yùn)動(dòng)特性引起的誤差和反向誤差。典型應(yīng)用包括:半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備,電路板裝配機(jī),精密機(jī)床,高精度機(jī)床,測(cè)量機(jī)和比較器,測(cè)量顯微鏡和其他精密測(cè)量設(shè)備。
 

光柵尺

  1.用于測(cè)量高速運(yùn)動(dòng)27m以內(nèi)的位置。尺寸和安裝方法與lida400相同
  2.測(cè)量步驟很小,精度和重復(fù)精度很高。掃描方式為干涉掃描,測(cè)量基準(zhǔn)為二相相位光柵。
  3.光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)為suradur玻璃矩陣光柵,掃描方式為干涉掃描。其特點(diǎn)是精度高,重復(fù)精度高,安裝簡(jiǎn)單,開關(guān)受限,歸零。lif481v的特殊類型可以在10–7bar的真空環(huán)境中使用。
  4.特別適用于運(yùn)動(dòng)速度高達(dá)10m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用。它支持各種安裝方法,并且易于安裝。根據(jù)應(yīng)用要求,冶金光柵的基質(zhì)可以是鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可以限制開關(guān)。
  5.PP雙坐標(biāo)編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)為平面二位相光柵,掃描方式為干涉掃描。用于測(cè)量平面中的位置。
  光柵尺包括柵尺或鋼帶和讀數(shù)頭。柵尺和讀數(shù)頭之間沒(méi)有機(jī)械接觸。開口的線性柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安裝面上,安裝表面的平整度直接影響線性柵尺的精度。

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