紫外線是由電磁波組成，紫外線本身所帶有的能量與波長有直接關系，即波長越短，能量越大；波長越長，能量越小。UV光氧催化設備通過采用D波段的真空紫外線（波長范圍170~184.9nm），照射VOCs有機廢氣。通過紫外線的照射，使VOCs有機廢氣發生裂解和分化，化學鍵斷裂，形成游離狀態的原子或基團（C*、H*、O*等）。同時，混合氣體中的氧氣被紫外線光裂解形成游離的氧原子并進一步與氧分子結合生成臭氧【UV O2→O- O*(活性氧) O* O2→O3(臭氧)】；混合氣體中的水蒸氣被紫外線光裂解產生羥基【UV H2O→H OH-(羥基) 】，臭氧和羥基具有*的氧化作用，可將VOCs有機廢氣裂解產生的原子和基團（甚至是有機氣體或惡臭氣體）氧化成H2O和CO2等無污染的低分子化合物。另外，利用高能紫外線光束可裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的DNA，再通過臭氧進行氧化反應，*達到脫臭及殺菌的目的。
UV光氧廢氣處理設備凈化效果 
根據韓國環境研究所提供的資料顯示，在實驗室條件下，采用UV光氧催化設備對單一的有機廢氣或惡臭氣體嚴格控制進氣濃度、氣量及其他條件時，VOCs有機廢氣功率充足的情況下，測得UV光氧催化設備廢氣處理效率均可達到99%以上。但在實際運用過程中，由于受到各種因素或者條件的影響，如廢氣成分復雜，廢氣濃度不穩定或者不能達到UV光氧催化設備適中的范圍（濃度過高或過低均會影響其凈化去除率），風量、氣壓、溫度、濕度等環境條件不穩定或者達不到UV光氧催化設備凈化的要求，廢氣預處理做的不夠理想，后續排放管道沒有留夠充足的氧化反應管道等這些不利因素，均會影響UV光氧催化設備廢氣處理效果。UV光氧催化設備在實際使用過程中凈化效率參差不齊，差異很大，甚至在滿足所有外在條件的基礎上，處理不同成分的廢氣其凈化效率也有差別。在此情況下很難單純的確定UV光氧催化設備廢氣處理效率，正藍環保公司只能說盡量的去調整影響UV光氧催化設備凈化效果的各種因素，盡量提高UV光氧催化設備的凈化效率。在各種因素都比較適合的條件下，UV光氧催化設備在實際運行過程中的凈化率可以達到90%以上，甚至某些成分的廢氣凈化效率可以達到95%以上甚至更高。