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IC激光開封機(jī) 封裝芯片激光開帽機(jī)

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更新時(shí)間:2021-11-16 18:14:47瀏覽次數(shù):1129

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產(chǎn)品簡介

本機(jī)是激光在現(xiàn)代芯片封裝制造行業(yè)的一類典型應(yīng)用。其以較佳的角度利用了激光在時(shí)空領(lǐng)域有較高且精確的控制性的特性,在激光微加工領(lǐng)域具有一定的代表性。

詳細(xì)介紹



關(guān)鍵詞:
①IC封裝:
指半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的后段加工制程,主要是將前段工序的成品-晶圓上的IC(Wafer)進(jìn)行分割(Die Saw)、黏晶(Die Bond)、打線(Wire Bond)和注塑(Mold)并進(jìn)行切腳/去膠-Dejunk/去緯-Trim/去框-Singulation/成型-Form的工序和相關(guān)產(chǎn)業(yè)模式;
②IC測(cè)試
就是運(yùn)用各種方法,檢測(cè)那些在制造過程中由于物理缺陷而引起的不符合要求的樣品。
常規(guī)上的IC測(cè)試一般分為物理性外觀測(cè)試(Visual Inspecting Test),IC功能測(cè)試(Functional Test),開蓋測(cè)試(De-Capsulation),可焊性測(cè)試(Solderbility Test),電性能測(cè)試(Electrical Test), 不損傷內(nèi)部連線測(cè)試(X-Ray),放射線物質(zhì)環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試(Rohs)以及失效分析(FA)驗(yàn)證測(cè)試。
③失效分析
失效性分析,在提高產(chǎn)品質(zhì)量,技術(shù)開發(fā)、改進(jìn),產(chǎn)品修復(fù)及仲裁失效事故等方面具有很強(qiáng)的實(shí)際意義。
失效可能發(fā)生在產(chǎn)品壽命周期的各個(gè)階段,涉及產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計(jì)、來料檢驗(yàn)、加工組裝、測(cè)試篩選、客戶端使用等各個(gè)環(huán)節(jié),通過分析工藝廢次品、早期失效、試驗(yàn)失效、中試失效以及現(xiàn)場(chǎng)失效的樣品,確認(rèn)失效模式、分析失效機(jī)理,明確失效原因,最終給出預(yù)防對(duì)策,減少或避免失效的再次發(fā)生。
IC產(chǎn)品具有前期設(shè)計(jì)和后期測(cè)試均極其復(fù)雜、制程繁多、生產(chǎn)工藝均對(duì)環(huán)境要求*的特點(diǎn),在這些設(shè)計(jì)和生產(chǎn)工藝中,任何一個(gè)環(huán)節(jié)控制的不好,都有可能導(dǎo)致IC產(chǎn)品的最終失效。能有效地尋找到導(dǎo)致IC失效的根源所在,并改進(jìn)和控制生產(chǎn)工藝IC,以提供良率是各IC設(shè)計(jì)公司和制造廠孜孜以求的目標(biāo)。因此,失效分析在IC領(lǐng)域占有舉足輕重的作用。

IC封測(cè)階段的失效性分析有多種方法、工具和相關(guān)程序,開封/開帽分析作為其中一種破壞性實(shí)驗(yàn),一般放置于外部非破壞性分析完畢之后進(jìn)行,且經(jīng)歷了手動(dòng)開冒到自動(dòng)開冒乃至激光開冒,可以說是與時(shí)俱進(jìn)了,這其中自然也有激光本身的“快、準(zhǔn)、亮"的特征作用,也是現(xiàn)代激光光源器件與各種電子機(jī)械工具高度融合應(yīng)用性的表現(xiàn)。


本設(shè)備以激光為工藝手段(目前視具體材質(zhì)和要求常規(guī)選用近紅外波段的光纖和紫外/綠光激光器),對(duì)各類電子芯片材料進(jìn)行精準(zhǔn)的物理開封,從而*或部分地暴露出各層物質(zhì)(如引線框架/邦定線/樹脂殘留/基材等)甚至晶圓層,開封之后,可以觀察切開剖面之金絲、金球、表面鋁線是否有受傷,芯片是否有裂縫,光刻是否不良,芯片名是否與布線圖芯片名相符,同時(shí)會(huì)利用帶顯微鏡的分析探針臺(tái)做測(cè)試和分析,以了解芯片內(nèi)部的Wire bonding是否良好,Pad和Metal的接觸是否OK、相關(guān)Pad間的電性能參數(shù)(導(dǎo)通電壓、阻抗、電容等)是否正常。這些都為后期的失效性分析提供了實(shí)測(cè)基準(zhǔn),在芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈中可以說占據(jù)十分重要的地位。


產(chǎn)品名稱:激光開封機(jī) (激光開帽(冒)機(jī)、激光開蓋機(jī)、塑料器件激光開封機(jī))
型號(hào):KY-C-GC5/7/10/15

適用材料:
芯片封裝體(Package)中的絕大多數(shù)IC封裝料:
1、EMC:Epoxy Molding Compound-塑封料-常規(guī)指熱固型環(huán)氧樹脂以及各種添加劑(固化劑/改性劑/脫模劑/染色劑/阻燃劑等):
一般指已大量商用的消費(fèi)電子類芯片封裝體中的COB黑膠,LED透明硅膠和其他各類粘合劑以及DIP/SOP/QFN/SOIC/TSSOP/PQFP/BGA/CSP等各種封裝外形下的其他塑料封裝材料;
2、L/F:Lead Frame-引線框架
常規(guī)指銅(含鍍銀、NiPdAu-鎳鈀金)/鋁/金綁定線、引腳等;
3、其他:/航天以及少量商用的陶瓷和其他可伐金屬材料如鐵鎳鈷合金等。



不論采用何種方法,開封的前提是需要保持各類芯片(如Die、Bond pads、Bond wires、Lead-frame)功能的完整無損。
與傳統(tǒng)的制模、機(jī)械切割研磨、化學(xué)腐蝕(各種酸類如硫酸、發(fā)煙硝酸和混酸等)和等離子等開封方法相比,激光這個(gè)工具有著十分亮眼的表現(xiàn)。
目前的案例均表明其能有效改進(jìn)芯片剖面分析工藝,節(jié)省開封時(shí)間,降低開封成本,提高開封良率,最終為各種類型的半導(dǎo)體失效分析應(yīng)用提供清晰精確的測(cè)試樣品。






1)精心選用的適合不同封裝材料且已從產(chǎn)學(xué)研前沿進(jìn)入工業(yè)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的激光器:

脈沖光纖(1064nm)、短波長的紫外綠光等冷光源(532/355nm)

共性:激光光斑細(xì)小(適應(yīng)集成電路微型特點(diǎn))、輸出能量可控(小面積上的操作可行性),作為材料表面加工工具能得到較為精細(xì)的效果(更窄的線寬、更小的線間距),從而在以規(guī)模化為重要制程特征的本案例中能得到更高的良率;

2)精確高效的控制系統(tǒng):

適應(yīng)多種失效分析軟件/設(shè)備制成的圖片且可選開封區(qū)域的軟件;

激光光束運(yùn)動(dòng)軌跡控制板卡;

兩方面配合能精確控制開封的定位、層次(可控單層厚度在0.01-0.1mm)、形狀、尺寸、時(shí)間等;

3)總體上的效率、一致性、穩(wěn)定性、耗材、環(huán)保性、綜合成本等綜合表現(xiàn)更佳。



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