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詳細介紹
ATLEX 1000 I高重頻*
新一代緊湊型風冷式，高重復率的*，專為低、中占空比應用設計。
高重頻*主要特點
ª 超快電暈預電離技術
ª HV-固態脈沖發生器
ª 激光腔體<3L
ª 全新技術的金屬陶瓷腔
ª 集成真空泵和鹵素過濾器
ª 全部風冷，溫度控制
ª 系統集成RS485，RS232，USB和FOC接口
ª 方便清洗的光學鏡架
ª 能量穩定模式
ª 符合歐洲CE標準
ª RoHS認證
應用
ª 微加工
ª 激光燒蝕
ª 醫學（屈光手術）
ª 光譜學
ª 計量
技術規格
氣體介質 | ArF | KrF | |
波長 | 193 | 248 | nm |
高壓開關技術 | 固態開關 | ||
大脈沖能量 1 | 10 | 15 | mJ |
大平均功率 | 8.0 | 10 | W |
大重復頻率 | 1000 | Hz | |
脈沖寬度 2 | 5 – 8 | ns | |
光斑尺寸 2 (V x H) | 4 x 6 | mm | |
光束發散角 2 (V x H) | 1 x 2 | mrad | |
能量穩定性 (標準差) | < 3 | % | |
尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | |
重量 | 60 | kg | |
冷卻方式 | 風冷 |
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電源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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所有規格都是典型的數據，如產品有改進，恕不另行通知更改。
1 在低重復頻率情況下測得： 應用能量穩定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值, FWHM。
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