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技術文章

敞開式光柵尺在自動化行業的應用

閱讀:164          發布時間:2020-8-10
  工控摘要:敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測量的機床和系統,它消除了滾珠絲杠溫度特性和運動特性導致的誤差,反向誤差。
  
  典型應用包括:
  
  半導體工業的測量和生產設備
  
  電路板組裝機
  
  精密機床
  
  高精度機床
  
  測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
  
  直接驅動
  
  ?產品系應用
  
  LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動的行程達27m內的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA400相同.
  
  LIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測量基準為DIADUR相位光柵。
  
  LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點是精度和重復精度高,安裝簡單,有限位開關和回零軌。特殊型號的LIF481V可用于10–7bar的真空環境中(參見其單獨“產品信息")。
  
  LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運動速度達10m/s的高速運動應用,支持多種安裝方式,安裝簡單。根據相應應用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關。
  
  ?PP雙坐標編碼器的測量基準是一個平面DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測量平面中位置。
  
  機械結構
  
  敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數頭,光柵尺和讀數頭間無機械接觸。敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。

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