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模塊集成閥

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產品型號MN3Q

品       牌

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更新時間:2023-02-15 10:43:17瀏覽次數:454次

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每1連閥上配備2個3通閥,減少了安裝空間。進、排氣口的取出位置可選擇,提高了配管的自由度。【適用缸徑:Φ4~Φ16】行業半導體制造工序(前工序)化學液體供給設備用元件化學氣體供給設備用元件氮氣清洗關聯元件

【小形化】
直接安裝時高34mm。
DIN導軌安裝時高39mm。
也可安裝在狹窄空間。

【可面板安裝】
進、排氣口的取出位置可選擇,提高了配管的自由度。

【扁平電纜、D-Sub接插件】
接插件的取出方向可從上方、橫向中選擇。

型號名稱安裝方式配管口徑備注
N3Q0660閥模塊單體DIN導軌安裝方式快插接頭Φ1.8, Φ3, Φ4, M5
MN3Q0660模塊集成閥DIN導軌安裝方式快插接頭Φ1.8, Φ3, Φ4, M5
MT3Q0660模塊集成閥直接安裝方式快插接頭Φ1.8, Φ3, Φ4, M5

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