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產品型號

超高真空插板閥

主要用途

此系列閥門分為手動、氣動、電動三種驅動方式，在結構設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，能廣泛應用于超高真空設備中。

產品特點

軸封有波紋管密封和氟橡膠密封兩種可選擇，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；
閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小；
·閥體采用加強筋結構，側執行器機構設計，體積小、重量輕，外形美觀；
·采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩；閥板整體式結構，支撐力均勻。

主要參數

適用范圍：

1×10^-7Pa～1.2×10⁵Pa
打開時插板上的壓差：

≤3×10³Pa任意方向

閥體和閥座漏率：

1.3×10^-7Pa·L·s^-1

建議*維修前循環次數：

10，000次

閥體烘烤溫度：

打開時≤200℃；關閉時≤150℃

安裝位置: 任意
電源：
-氣動驅動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

-電動驅動：
DN 63~250為交流220V 50Hz，25W或交流380V 50 Hz，25W

DN 320~400為交流
220V 50Hz，40W或交流380V 50 Hz，40W

（除上述規格，特殊規格可定做）

壓縮空氣（只適用于氣動）

-DN 63~200：0.4～0.7MPa

-DN 250~400：0.5～0.7MPa

閥門開啟或關閉時間
-氣動驅動：
DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s；

-電動驅動：
DN 63~250 ≤50s；

DN 320~400 ≤60s

閥門位置指示

-手動驅動：帶有啟閉位置指示（機械式）

氣動驅動：
帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）

電動驅動：
帶有啟閉位置指示開關（微動開關）

規格尺寸