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沈陽科晶自動化設備有限公司
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全自動橢偏檢測機臺

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產品型號

品       牌 沈陽科晶/KEJING

廠商性質生產商

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更新時間:2021-03-15 15:53:14瀏覽次數:357次

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全自動橢偏檢測機臺

產品簡介:全自動橢偏檢測機臺作為一種小型橢偏集成機臺,通過整體高度模塊化,電、氣路集成技術,實現不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。全自動橢偏檢測機臺廣泛應用于科學研究中各種各向同性,異性薄膜材料的膜厚、光學常數以及一維、二維納米光柵的結構表征;工業領域新型光電器件行業所涉及的薄膜(配向膜、光刻膠、ITO、發光薄膜、封裝薄膜)全片離線化快速掃描測量。

 

產品型號

全自動橢偏檢測機臺

主要特點

1、支持實驗室研究整體橢偏集成控制測量技術

2、支持產線大基片離線自定義多點掃描測量并輸出報告

3、支持多橢偏方案,多組合集成

4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化

技術參數

自動化程度

可變/固定角

應用定位

高階高精度型

高精度型

單次測量時間

0.5-5s

分析光譜

380-1000nm(支持擴展至193-2500nm)

Mapping行程

支持100x100mm行程擴展

支持樣件尺寸

支持200mm樣件

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