產品型號

VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀

產品型號

VTC-600-2HD

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、配置兩個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。

2、可制備多種薄膜，應用廣泛。

3、體積小，操作簡便。

技術參數

1、電源電壓：220V  50Hz

2、功率：<2KW（不含真空泵）

3、極限真空度：9.0×10^-4Pa

4、樣品臺加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據實際需要提升溫度）

5、靶槍數量：2個（可選配其他數量）

6、靶槍冷卻方式：水冷

7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同）

8、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。（靶電源種類可選，可選擇兩個直流電源，也可選擇兩個射頻電源，或選則一個直流一個射頻電源）

9、載樣臺：Ø140mm，可根據客戶需求選配加裝偏壓功能，以實現更高質量的鍍膜。

10、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內可調

11、工作氣體：Ar等惰性氣體

12、進氣氣路：質量流量計控制2路進氣，一路為100SCCM，另一路為200SCCM。

產品規格

1、主機尺寸：500mm×560mm×660mm

2、整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm

3、真空室規格：φ300×300mm

4、重量：160kg

標準配件

1

直流電源控制系統

1套

2

射頻電源控制系統

1套

3

膜厚監測儀系統

1套

4

分子泵（德國進口）

1臺

5

冷水機

1臺

6

冷卻水管（Ø6mm）

4根

可選配件

金、銦、銀、白金等各種靶材