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手動升降滑臺升降裝置制作方法
閱讀：973 發布時間：2022-6-2本實用新型涉及一種通過調節加熱盤升降來調節兩極板間間距的手動升降裝置，屬于半導體薄膜的沉積應用及制造技術領域。
背景技術:
目前，半導體電鍍設備，特別是12英寸PECVD設備產品的加熱盤升降調節機構由電動滑臺(氣動滑臺)、導軌、波紋鋼管、上下連接法蘭、導向機構、調平機構、密封機構、傳感器和支架構成動力連通時，滑臺在導向機構的引導下上下移動，通過傳感器反饋位置實現加熱盤的升降調整。 但是，上述復雜的調整結構可以滿足調整加熱盤升降的需要，滿足升降位置反饋和調整的需要，但由于設備的工作環境一般為400°C以上的高溫，調整和反饋的信號容易干擾，維護時設備的 電子設備的成本也不會變小，上述閉環全自動的設計結構并不*適應半導體電鍍行業的現狀。
本實用新型的目的是針對上述現有技術的不足，提供一種占地面積小、結構簡單、容易調平的新型手動升降裝置。 為了實現上述目，本實用新型包括波紋管組件，波紋管組件通過焊接形成波紋管組件和上下凸緣. 在此基礎上，法蘭固定在加熱盤底部，下法蘭按壓密封件固定在穩定流室底部，實現波紋管的固定和密封。 波紋管組件的下法蘭與導向銅套連接，在整個裝置的垂直方向上被導向。 所述導向銅套與線母連接，線母與螺桿卡合，通過轉動螺釘固定座、銅套和手柄實現螺桿的順利旋轉。 指針固定在導套上，刻度板環在把手的外圈上。 調整刻度盤時，刻度盤會準確地指示旋轉行程，刻度在數量級表示上升或下降的位移。 導向銅套的外周有與彈簧相連的螺栓，用于微調加熱盤的水平。 通過彈簧的自鎖功能，可以在調整中獲得可調整的效果。 本實用新型采用簡單可靠的機械傳動機構和直觀的刻度盤、標尺代替現有技術的滑臺和傳感器，其結構簡單。 另外，在實現基本功能需求的基礎上，可以*實現加熱柜的升降調整、極距調整，加之機構整體空間小，調平和拆卸維護簡單，保證升降高度的反饋直觀，成本低廉 適用于科研機構和小型Fab工廠所需的經常性調整試驗參數，反復調整比對實驗結果的目的。
具體實施方式：
波紋管組件通過焊接形成波紋管和上下凸緣，其上凸緣固定在加熱盤底部，下凸緣按壓密封固定在穩定流室底部進行波紋管固定和密封，波紋管組件下凸緣與導向銅罩連接，在裝置整體的上下方向上
根據權利要求1所述手動升降裝置，其特征在于，所述螺桿(8)為t型結構。
摘要手動升降裝置主要解決了現有產品結構復雜、成本高等技術問題。 該裝置包括波紋管組件，波紋管組件由波紋管和上下法蘭焊接而成。 在此基礎上，固定在加熱盤底部，下法蘭按壓密封件固定在穩定流室底部，實現波紋管的固定和密封。 在整個裝置的垂直方向上被導向。 指針固定在導銅套上，刻度板環固定在把手的外圈上，導銅套的外周設有與彈簧連接的螺栓。 本裝置采用簡單可靠的機械傳動機構和直觀的刻度盤、標尺代替傳統的滑臺和傳感器，結構簡單，拆卸維護方便，成本低廉。 適應科研機構和小型Fab工廠所需的經常性調整試驗參數，反復調整比對實驗結果的目的。