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LMX2E線性馬達(dá)系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2021-05-26 11:06:25瀏覽次數(shù):448

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產(chǎn)品簡介

LMX2E線性馬達(dá)系統(tǒng)直線度可達(dá)10um X軸***6m Y軸0.5m行程 以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺良好接地設(shè)計(jì)防止雜訊干擾 Z向震動(dòng)可達(dá)奈米等級以下

詳細(xì)介紹

特征: 應(yīng)用:

直線度可達(dá)10um 半導(dǎo)體設(shè)備
X軸***6m Y軸0.5m行程 自動(dòng)化搬送
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺 FPD設(shè)備
良好接地設(shè)計(jì)防止雜訊干擾 太陽能製造設(shè)備
Z向震動(dòng)可達(dá)奈米等級以下 PCB設(shè)備
***速度可達(dá)5m/s 水刀設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下 鑽石切割產(chǎn)業(yè)
位置回饋系統(tǒng)解析度***可達(dá)50nm AOI檢測設(shè)備
工具機(jī)

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