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激光干涉儀01激光干涉儀LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長為基礎(chǔ)，應(yīng)用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術(shù)，獲得作為測量基準(zhǔn)的高精度激光波長
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