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詳細介紹
液晶面板製造暨檢查設備
電路整列製程設備（Array Fabrication）及彩色濾光片製程設備（C/F,Color Filter Process)
玻璃基板表面檢查設備
- 於對坡璃基板表面異物檢查及製程管理
- 對應基板的大型化、薄型化的發展趨勢。
- 具有節省無塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裡分離能力等優點。
近接式曝光機
- 最以X Y Step方式對應第10代基板尺寸的近接式曝光機
- 比投影式曝光機臺具有成本上優勢
- 採用高功率的曝光光源
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