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晶圓搬運機器人

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  • 型號 NTS10
  • 品牌
  • 廠商性質 經銷商
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更新時間：2022-07-07 17:43:26瀏覽次數：438

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產品簡介

NTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發的驅動部分，能夠實現高精度、高剛性的動作。

詳細介紹

  • 應用分類晶圓搬運
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