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1、壓縮空氣保養
由于壓縮空氣對三坐標測量儀的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣源的維修和保養非常重要。其中有以下主要項目：
1、每天使用三坐標測量儀前檢查管道和過濾器，放出過濾器內及空壓機或儲氣罐的水和油。
2、一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質量較差的周期要縮短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響三坐標測量儀正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。

2、導軌維護保養
三坐標測量儀的導軌是測量機的基準，只有保養好氣浮塊和導軌才能保證測量機的正常工作。三坐標測量儀導軌的保養除了要經常用酒精和脫脂棉擦拭外，還要注意不要直接在導軌上放置零件和工具。尤其是花崗石導軌，因其質地比較脆，任何小的磕碰會造成碰傷，如果未及時發現，碎渣就會傷害氣浮塊和導軌。要養成良好的工作習慣，用布或膠皮墊在下面，保證導軌安全。
工作結束后或上零件結束后要擦拭導軌。每天都要擦拭導軌油污和灰塵，保持氣浮導軌的正常工作狀態。