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技術(shù)文章

干涉儀的優(yōu)缺點(diǎn)

閱讀:1362          發(fā)布時(shí)間:2022-8-27

激光干涉儀根據(jù)不同的光學(xué)基礎(chǔ)有多種類型的干涉儀產(chǎn)品,但干涉儀因?yàn)槠湓碚w產(chǎn)品有以下優(yōu)缺點(diǎn)。

高精度

以光學(xué)組件來(lái)說(shuō), 因?yàn)榻M件的微小變化均會(huì)嚴(yán)重改變?cè)械墓鈱W(xué)質(zhì)量,因此必須要有非常精確的測(cè)量?jī)x器, 干涉儀具有精度非常高的優(yōu)點(diǎn), 可達(dá)1/100的波長(zhǎng)甚至到1/1000的波長(zhǎng), 波長(zhǎng)是指干涉儀中使用光源的波長(zhǎng)值.舉例來(lái)說(shuō):一般干涉儀的波長(zhǎng)為632.8( nm ), 632.8的百分之一約為6個(gè)(nm) , 目前的納米科技是在這個(gè)尺度, 甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(gè)(nm)

第二. 測(cè)量方式為非接觸式測(cè)量

另一種測(cè)量用的輪廓儀是使用接觸式的測(cè)量方式, 即使目前已可以微調(diào)接觸的力量, 但對(duì)于表面較脆弱的被測(cè)量物是否真的*不會(huì)造成損害則仍無(wú)法確定.而當(dāng)用干涉儀測(cè)量時(shí), 是把光照射到被測(cè)量的物體上, 所以干涉儀上的探針也就是光, 并不會(huì)對(duì)物體表面照成任何傷害

第三 速度快。

使用探針來(lái)測(cè)量時(shí)無(wú)法一次測(cè)量所有的面積, 而可能必需分很多掃瞄線去測(cè)量, 相對(duì)來(lái)說(shuō), 干涉儀的測(cè)量速度就非常快了, 可能幾秒鐘就測(cè)完了, 而不需要等待幾個(gè)小時(shí)的時(shí)間.

第四 干涉儀的缺點(diǎn),使用門(mén)檻高

一個(gè)操作員在會(huì)使用干涉儀卻不太清楚干涉儀的使用限制、條件及原理的時(shí)候, 可能會(huì)測(cè)量到不是他所要的東西, 而且, 因?yàn)楦缮鎯x是用光線測(cè)量, 在調(diào)整上也會(huì)花費(fèi)多的時(shí)間, 可能測(cè)量結(jié)果只要花幾秒鐘, 但事前的調(diào)整卻要花費(fèi)幾十分鐘甚至數(shù)個(gè)小時(shí).

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