詳細介紹 集成化音圈模組設計,包含音圈電機動定子、導軌、光柵尺反饋系統及載臺,即裝即用性能特點:系模塊化設計, 應用了圓柱形音圈電機單重線導軌或滑軌系統行程可從15mm到30mm直接驅動,無背隙和無嵌齒效應模塊的設計配備編碼器編碼器的高分辨率有1.0um或0.1um反應快,帶寬高
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