機床商務網
詳細介紹
性能、規格
| 項目 | NANOMETRO® 110F | NANOMETRO® 330F | NANOMETRO® 750F |
|---|---|---|---|
| 量程 | X:100mm Y:100mm | X:300mm Y:300mm | X:700mm Y:500mm |
| 綜合測量精度 | 0.4μm | 0.6μm | |
| 重復測量精度 | 0.05μm(σ) | 0.1μm(σ) | |
| 顯示分辨率 | 0.01μm | ||
| 測頭 | 非接觸激光位移計 | ||
| 最小數據周期 | 1μm | ||
| 測量速度 | 0.5~30mm/s | ||
| 軸、導軌 | 氣動滑座 | 陶瓷制氣動滑座 | |
| 驅動方式 | XY:伺服馬達 | X:線性馬達 Y:伺服馬達 | |
| 工件重量 | 4kg | 50kg | 50kg |
機床商務網