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NANOMETRO® TT系列

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更新時間:2022-10-20 17:47:45瀏覽次數:477

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產品簡介

同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度!NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區最小1mm,可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。

詳細介紹

特點

  • 平整度測量例

nanometro_TT_feature_001.gif

  • 邊緣排除區1mm

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  • 邊緣排除區3mm

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  • 放射狀測量數據

nanometro_TT_feature_004.gif

  • 邊緣滾降分析

nanometro_TT_feature_005.gif

  • 邊緣鳥瞰圖、截面圖

nanometro_TT_feature_006.gif

<Edge Roll-off分析>
根據表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結果,提供符合客戶需求的分析軟件。

性能、規格

項目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程 φ300mm φ200mm
顯示分辨率 1nm
測頭 非接觸激光位移計
測量方式 縱向旋轉方式

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