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平湖黑田精工有限公司>>表面形狀測(cè)量系統(tǒng)>>NANOMETRO® FR系列

NANOMETRO® FR系列

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更新時(shí)間:2022-10-20 17:50:55瀏覽次數(shù):390

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

對(duì)陶瓷板等平面度進(jìn)行高精度測(cè)量搭載旋轉(zhuǎn)氣動(dòng)臺(tái),可測(cè)量晶圓拋光用陶瓷板、研磨臺(tái)等φ1000mm的圓盤(pán)表面形狀。配備有詳細(xì)評(píng)價(jià)用同心圓測(cè)量、粗略評(píng)價(jià)用放射狀測(cè)量等各種測(cè)量所需的評(píng)價(jià)用軟件。

詳細(xì)介紹

性能、規(guī)格

項(xiàng)目

NANOMETRO®

700FR

NANOMETRO®

1000FR

量程 φ700mm(max.) φ1000mm(max.)
綜合測(cè)量精度 0.4μm 0.6μm
重復(fù)測(cè)量精度 0.05μm(σ)
顯示分辨率 0.01μm
測(cè)頭 電子千分尺
測(cè)量速度(X軸) 35mm/s
軸、導(dǎo)軌

X軸:陶瓷制氣動(dòng)滑座

θ軸:氣動(dòng)軸承

驅(qū)動(dòng)方式

X軸:線性馬達(dá)

θ軸:伺服馬達(dá)

工件重量 60kg 80kg

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