由于大工件在研磨時，所磨的面積比小工件要大很多，所以選擇的研磨盤，壓重塊等肯定也是要大很多的。大面積的工件在固定和加壓時，如果稍微有一點點受力不均勻，所受到的張力也就越大，容易產生斷裂。而小工件，這種壓力點不均勻的概率遠遠低于大尺寸工件，并且小工件平放受壓時所受張力沒那么大，不容易碎。
其次，我們進行對比論證：400mm直徑的工件和30mm直徑的工件同時放在研磨拋光機上進行研磨，面積小的比面積大的受力均勻，切削速度也要快一倍。而面積大的工件，磨削過程中由于受力面廣，效果不均勻的概率要大，所以更加難以實現效果。
最后，我們舉一個實際的例子來進行最后說明：我們從實驗室拿兩塊厚度均等的硅片來做實驗，硅片1，直徑500mm厚度1mm，硅片2，直徑20mm，厚度1mm，將他們同時放到13-6B雙面研磨機上進行研磨。要求效果：平面度2u,平行度：2u，鏡面效果。開啟設備后，采用相同的研磨耗材對兩塊工件同時研磨，在研磨10分鐘后，硅片1，表面三項指標均為達到；硅片2，達到。
由此三點，我們得出大小工件研磨難度有著很大差異性。在研磨要求均等的情況下，大工件較難實現一些，且所花的時間更長一些。而小工件則較易實現，研磨效率也要高于大尺寸工件。
