蔡司三坐標測量機是采用氣浮軸承使運動軸的運動無磨擦，其原理是將壓縮空氣從氣浮塊的小孔中噴出，在氣浮塊和導軌之間形成一定厚度的氣膜，這個氣膜使測量機的各軸運動時無摩擦，保證測量機正常的運動狀態和測量精度。從以上可以看出，氣浮塊的正常浮起狀態對于測量機的正常工作非常重要。
1. 壓力對測量機的影響
在正常工作壓力的前提下，氣浮塊的浮起間隙約4~12μm，空氣壓力的波動會使氣浮塊的氣浮間隙變化，影響測量重復性。氣壓嚴重不足時，會使氣浮塊不能充分浮起造成與導軌摩擦，輕者影響測量機運動狀態和測量精度，重者會磨損導軌和氣浮塊,嚴重損壞測量機。
Z軸采用氣動平衡的測量機在氣壓嚴重不足的情況下會造成Z軸失衡下落的情況，非常危險。所以要盡量保證測量機工作壓力的穩定。1.要選擇合適的空壓機，另有儲氣罐，使空壓機工作壽命長，壓力穩定。2.空壓機的啟動壓力一定要大于工作壓力。3.開機時，要先打開空壓機，然后接通電源。
2. 油和水對測量機的影響
由于空壓機對空氣壓縮的同時會把空氣中的水分子和油分子壓縮成水和油，而且空壓機本身工作時也需要有潤滑油對其機構進行潤滑，也使得有一部分潤滑油進入壓縮空氣。進入壓縮空氣的水和油會隨著壓縮空氣進入到平衡氣缸和氣浮塊。在測量機工作時水和油附著在導軌上，使導軌的直線度改變。當測量機不工作時管道中的油滴可能堵塞氣浮塊的氣孔，使氣浮塊不能正常浮起，造成氣浮塊與導軌的摩擦，損壞測量機并使氣管老化。管道中的水還會腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。
油和水都有“附壁”的特性，所以過濾油和水的工作應該從空壓機的輸出管道就開始了，要合理設置、利用壓縮空氣的輸送管道，盡量多過濾掉油和水。
雖然測量機配置有過濾器，但是我們只把它看作是“保險絲”，因為如果沒有前置過濾器，它的濾芯很快被油糊死，造成氣壓不足而無法工作。為此必須采取前置過濾的方法，盡量爭取在水和油進入測量機之前過濾掉。
3. 對氣路的維護和保養
由于壓縮空氣對測量機的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣路的維修和保養非常重要。其中有以下主要項目：
1. 每天使用測量機前檢查管道和過濾器，放出過濾器內及空壓機或儲氣罐的水和油。
2. 一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質量較差的周期要縮短。因為過 濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響測量機正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。
3. 每天都要擦拭導軌油污和灰塵，保持氣浮導軌的正常工作狀態。
4. 對測量機導軌的保護
測量機的導軌是測量機的基準，只有保養好氣浮塊和導軌才能保證測量機的正常工作。測量機導軌的保養除了要經常用酒精擦拭外，還要注意不要直接在導軌上放置零件和工具。尤其是花崗石導軌，因其質地比較脆，任何小的磕碰會造成碰傷，如果未及時發現，碎渣就會傷害氣浮塊和導軌。要養成良好的工作習慣，用布或膠皮墊在下面，保證導軌安全。
工作結束后或上零件結束后要擦拭導軌。
溫度對測量的影響
測量機是計量檢測儀器，它的正常工作溫度應該是20℃±2℃。測量機的長度基準-光柵是在20℃時修正的，測量機也是在這個溫度情況下裝配調試的，當溫度偏離太大時會對測量精度造成很大影響。