選取適宜的蔡司三坐標測量儀的軟件包，是來自三坐標測量機得益的重要因得益的關鍵的要素，當你明確一臺三坐標測量儀是你所想要的，三坐標測量儀制造商會建議適宜的軟件符合機器和運用，你應該服從這些推薦。唯有適宜的蔡司三坐標測量儀的軟件，才是三次元使用著的選擇。

軟件程序還具備統計全過程理解和控制功能。對于壁很薄的工件的測量的運用軟件簡化了包含臺階邊沿、經過螺帽和螺栓連接的工件的定位與測量。功能完備的輪廓測量使得蔡司三坐標測量儀能夠迅速、精確地明確繁雜的、非幾何形狀的、沒有直邊的工件，如渦輪葉片、螺旋壓縮器轉子、齒輪、活塞、凸輪和曲軸。

　　軟量規工作包能夠圖形化地構造量規，經過數學的辦法插入零配件的特點，進而校正幾何尺寸。一些程序提供了這樣的模塊，用來測量非規則形狀的零配件，如薄壁件和塑料裝配件，擋風玻璃和排氣裝置。這樣就減小了對于高價位固定量儀的需求。其它模塊可實行2-D和3-D化流程，并可完成輪廓比較。

　　數據傳導標準是由行業逐漸發展起來并獲得普遍接受，如尺寸測量接口標準(DMIS)，是用來完成從YDD系統到測量機的通信的;初期化圖形互換標準(IGES)是為了完成從YDD系統到YDD系統的數據互換。這樣的功能，使得蔡司三坐標測量儀能夠用于逆向工程等場合下。此時，產品的數據來源于模塊或部分零配件的測量中。數據的傳導還能夠直觀從YDD數據開發測量程序，在適宜的條件下，以至是脫機進行，進而減少了生產中蔡司三坐標測量儀的負擔。
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