測量項目 | |
粗糙度 部分 | Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr |
輪廓儀 部分 | 點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離等）、**點、**點、距離、角度處理（坐標夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù) |
粗糙度 測量范圍 | |
X軸 | RA：0.005μm—16.00μm |
Z1軸 | ±20μm、±40μm、±80μm |
取 樣 長 度 L | 0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動 |
評 定 長 度 | 1L—5L(可選 L為取樣長度) |
測量行程長度 | 3L—7L(可選 L為取樣長度) |
輪廓儀 測量范圍 | |
X軸（橫導軌） | 220mm |
Z1軸（傳感器） | 60mm |
Z軸（立柱） | 500mm |
粗糙度 測量精度 | |
示值誤差 1 | 0.001μm |
示值誤差 2 | ≤±7％ |
輪廓儀 測量精度 | |
X軸 (L=X軸導軌移動距離) | ±(1+L/300)μm |
Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度) | ±(0.8+2H/100)μm |
X軸水平臂 | |
直線度 | 1.5μm/200mm |
光柵分辨率 | 0.1μm |
光柵產地 | 進口 |
Z1軸傳感器 | |
分辨率 | 0.05μm |
傳感器類型 | 光柵傳感器 |
產地 | 進口 |
移動方向 | 前/后 雙方向 |
測力 | 0.5-6g |
測針針尖 | 硬質合金 R：0.05mm、0.01mm |
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
驅動行程 | |
**驅動行程長度 | 17.5mm/0.71 inch |
小驅動行程長度 | 1.3mm/0.052 inch |
粗糙度 速度 | |
測量速度 | 0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s |
輪廓儀 速度 | |
測量速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義） |
定位速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義） |
圖形放大/縮小 | |
圖形放大 | 可任意縮小、放大 |
綜合調整臺 | |
綜合調整臺 | X軸水平傾斜調整范圍：±30° Y軸方向調整范圍：±7.5mm Z軸回轉可調360度（帶微調裝置） |
安裝要求 | |
電源 | 220-240V AC, 50HZ，單獨地線；**功率消耗450W |
壓縮空氣 | 純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上） |
環(huán)境要求 | 工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結露），良好地線，無明顯振源 |
